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Herstellung dunner metallischer Brucken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
by Dominik Stöffler
In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakt ... more
- Language:
German - Binding: Paperback
- Number of pages: 114
Publisher: Karlsruher Institut Fur Technologie, 2014
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RRP: 74.24 €
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Book synopsis
In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen.
Book details
Book category Books in German Naturwissenschaften, Medizin, Informatik, Technik Physik, Astronomie
72.72 €
- Full title: Herstellung dunner metallischer Brucken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
- Author: Dominik Stöffler
- Language: German
- Binding: Paperback
- Number of pages: 114
- EAN: 9783866448438
- ID: 07094448
- Publisher: Karlsruher Institut Fur Technologie
- Weight: 195 g
- Dimensions: 244 × 170 × 6 mm
- Date of publishing: 29. July 2014
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