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Diese Arbeit zeigt, wie die epitaktische Abscheidung von AlGaN-Schichten im gesamten Kompositionsbereich mittels Hydrid-Gasphasenepitaxie (HVPE) realisiert wird. Die Optimierung eines für die Abscheidung verwendeten Quarzglasreaktors und das AlGaN-Wachstum durch ein quasi-thermodynamisches Modell werden detailliert beschrieben. Eine entscheidende Verbesserung der AlGaN-Materialqualität wird durch das Verfahren des epitaktisch lateralen Überwachsens strukturierter Substrate sowie durch Parameterstudien zum Substratfehlschnitt, Gesamtdruck und V/III-Verhältnis erreicht. Die Untersuchung struktureller und optischer Eigenschaften des abgeschiedenen Materials zeigt, dass die HVPE ein geeignetes Verfahren ist, um dicke, einheitlich orientierte, transparente AlGaN-Schichten herzustellen.

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Zaradenie knihy Knihy po nemecky Naturwissenschaften, Medizin, Informatik, Technik Physik, Astronomie Physik, Astronomie - Sonstiges

• Celý názov: Hybrid-Gasphasenepitaxie zur Herstellung von Aluminiumgalliumnitrid
• Autor: Sylvia Hagedorn
• Jazyk: Nemčina
• Väzba: Brožovaná
• Počet strán: 176
• EAN: 9783954049851
• ISBN: 3954049856
• ID: 12828812
• Nakladateľ: Cuvillier Verlag
• Hmotnosť: 236 g
• Rozmery: 210 × 148 × 9 mm
• Dátum vydania: 20. May 2015

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