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In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen.

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Zaradenie knihy Knihy po nemecky Naturwissenschaften, Medizin, Informatik, Technik Physik, Astronomie

• Celý názov: Herstellung dunner metallischer Brucken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
• Autor: Dominik Stöffler
• Jazyk: Nemčina
• Väzba: Brožovaná
• Počet strán: 114
• EAN: 9783866448438
• ID: 07094448
• Nakladateľ: Karlsruher Institut Fur Technologie
• Hmotnosť: 195 g
• Rozmery: 244 × 170 × 6 mm
• Dátum vydania: 29. July 2014

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