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Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.

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Zaradenie knihy Knihy po nemecky Naturwissenschaften, Medizin, Informatik, Technik Technik Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik

• Celý názov: Mikrosystemtechnik
• Podnázov: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
• Autor: Ulrich Hilleringmann
• Jazyk: Nemčina
• Väzba: Brožovaná
• Počet strán: 274
• EAN: 9783835100039
• ISBN: 3835100033
• ID: 03622076
• Nakladateľ: Vieweg+teubner Verlag
• Hmotnosť: 381 g
• Rozmery: 210 × 148 × 17 mm
• Dátum vydania: 25. April 2006

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